微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究

微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究

定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源,主要有微机械结构的Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等.对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础.

作 者： 李万玉 阮爱武 罗晋生 冯培德 LI Wan-yu RUAN Ai-wu LUO Jin-sheng FENG Pei-de   作者单位： 李万玉,冯培德,LI Wan-yu,FENG Pei-de(航空工业总公司第618研究所七室,陕西,西安,710065)

阮爱武,RUAN Ai-wu(西北工业大学,自动控制系,陕西,西安,710072)

罗晋生,LUO Jin-sheng(西安交通大学,电子与信息学院,陕西,西安,710049) 

刊 名： 航空学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA  年，卷(期)： 1999 20(5)  分类号： V241.6  关键词： 微机械梳状驱动   音叉陀螺   Brownian噪声   电路噪声   机械耦合误差   电子机械耦合误差  

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