磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究

磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究

介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理,进行了针对旋转力矩的仿真;在此基础上,给出了相应实现方案的指标分析和系统设计.经过实际测试,旋转驱动后,微陀螺可以得到均匀快速的旋转效果,为下一步陀螺效应的研究打下了基础.

作 者： 邵诗逸 黄晓刚 刘武 陈文元 SHAO Shi-yi HUANG Xiao-gang LIU Wu CHEN Wen-yuan   作者单位： 上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室,微纳米加工国防实验室,上海,200030  刊 名： 微电子学  ISTIC PKU 英文刊名： MICROELECTRONICS  年，卷(期)： 2006 36(1)  分类号： V241.5  关键词： 磁悬浮转子   微陀螺   文氏桥   移相   正交驱动  

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