压电振动微机械陀螺研究

压电振动微机械陀螺研究

本文介绍了一种新型的压电振动微机械陀螺.与其它大多数压电陀螺不同,它不需要弹性元件,由压电材料本身构成振子完成陀螺功能.由PZT薄膜材料做成的平板沿厚度方向极化并受电激励产生厚度伸缩振动,当一输入角速度作用于振子,根据哥氏效应,则在极化轴和输入角速度轴组成的平面垂直方向上产生一正比于输入角速度大小的感应电压.它是一种双轴陀螺.本文给出了它的物理模型,并用PZT陶瓷晶体做了宏观模拟实验.实验结果与理论计算一致.文章还对由PZT薄膜构成的微机械压电陀螺进行了性能估算.

作 者： 何国鸿 陈抗生   作者单位： 浙江大学信息与电子工程学系,杭州,310027  刊 名： 电子学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA ELECTRONICA SINICA  年，卷(期)： 1998 26(11)  分类号： V2  关键词： 陀螺   压电   微机械   厚度伸缩振动  

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