微型半球陀螺仪的误差源研究

微型半球陀螺仪的误差源研究

讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源,主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等.对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础.

作 者： 倪受东 吴洪涛 嵇海平 朱剑英 NI Shou-dong WU Hong-tao JI Hai-ping ZHU Jian-ying   作者单位： 倪受东,NI Shou-dong(南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;南京工业大学,机械与动力工程学院,江苏,南京,210009)

吴洪涛,嵇海平,朱剑英,WU Hong-tao,JI Hai-ping,ZHU Jian-ying(南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016) 

刊 名： 传感器与微系统  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(1)  分类号： V241.6  关键词： 微型半球陀螺仪   量测误差   非线性效应   热漂移   结构误差  

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