微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统.其特征尺寸极小,学科交叉广泛;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面;学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域,在民品和军品领域有许多热点应用.本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器,以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景.

作 者： 高世桥 曲大成   作者单位： 高世桥(北京理工大学机电工程学院)

曲大成(信息科学技术学院,北京,100081) 

刊 名： 科技导报  ISTIC PKU 英文刊名： SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW  年，卷(期)： 2004 ""(4)  分类号： H TP TM O3  关键词： 微机电系统   MEMS   微机械加工   智能控制  

【微机电系统(MEMS)技术的研究与应用】相关文章：

星载MEMS原子钟稳频系统的优化及实验研究12-04

机电技术应用就业前景11-10

上海微系统与信息技术研究所2012年研招简章04-28

上海微系统与信息技术研究所2012年研招目录04-28

中科院上海微系统与信息技术研究所2011硕士入学须知04-26

BIM技术应用03-13

（优选）BIM技术应用03-13

西安机电信息技术研究所212所研招简章04-28

抄核收技术应用总结03-25

西安机电信息技术研究所212所2012研招简章04-28