绒面ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜的制备

绒面ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜的制备

利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制备了绒面ZAO(ZnO:Al)薄膜,考察了所制备的绒面ZAO薄膜与绒面SnO2:F薄膜在绒度、粗糙度、表面形貌以及电学性质的差异,利用原子力显微镜对薄膜表面形貌进行了分析并计算出薄膜表面粗糙度,利用紫外可见分光光度计和电阻测试仪测量了薄膜的光学、电学特性.结果表明:所制备的绒面ZAO薄膜具有与绒面SnO2:F薄膜相比拟的各种性能,在非晶硅太阳电池中具有潜在的应用前景.

作 者： 付恩刚 方玲 庄大明 张弓   作者单位： 清华大学机械工程系,北京,100084  刊 名： 太阳能学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA  年，卷(期)： 2003 24(5)  分类号： O484  关键词： 磁控溅射   绒面   ZAO薄膜   SnO2:F薄膜  

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