Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究

Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究

用原子力显微镜观察溶胶-凝胶法制备Al掺杂znO薄膜的表面形貌,运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像,多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌.结果显示:Al掺杂量为0.5 at.%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,rms粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0 at.%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,rms粗糙度增大到4.625,相应的分形谱宽△α从0.019增大到0.287,分形参数△f由-0.075变为0.124.

作 者： 吕建国 宋学萍 孙兆奇 L(U) Jian-guo SONG Xue-ping SUN Zhao-qi   作者单位： 吕建国,L(U) Jian-guo(安徽大学物理与材料科学学院,安徽合肥230039;合肥师范学院物理与电子工程系,安徽,合肥,230061)

宋学萍,孙兆奇,SONG Xue-ping,SUN Zhao-qi(安徽大学物理与材料科学学院,安徽合肥,230039) 

刊 名： 电子显微学报  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY  年，卷(期)： 2008 27(3)  分类号： O766 O484 TG115.21+5.7  关键词： Al掺杂ZnO薄膜   原子力显微图像   表面形貌   多重分形谱  

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