基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术

时间:2023-04-27 09:57:07 航空航天论文 我要投稿
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基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术

含有多传感器的微机电系统在组装传感器时,一般存在着轴对准问题,轴的非对准误差能导致很大的系统测量误差.为此提出一种基于光对准的误差补偿方法,可以在不需要高精度轴对准的前提下,对装配后的组件进行后续误差检测和实时补偿,有效地消除装配误差对测量精度的影响.将该方法实施于微机电方位水平仪,用以测量姿态,通过仿真结果证实了方法的有效性.

作 者: 朱荣 周兆英 孙雪峰   作者单位: 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084  刊 名: 清华大学学报(自然科学版)  ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY)  年,卷(期): 2002 42(11)  分类号: V447  关键词: 微机电系统   多传感器   轴装配误差   光对准   误差补偿  

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