MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料

时间:2023-04-27 18:58:53 航空航天论文 我要投稿
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MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料

依据金属基化学气相渗透法(Metal Organic Chemical Vapor Infiltration,MOCVI)工艺理论基础,采用MOCVI法制备出SiO2/SiO2复合材料,并分析了载气流量、先驱体JH20温度和沉积温度对氧化硅基体渗透速率和SiO2/SiO2(石英玻璃)复合材料显微结构的影响.结果表明,优化条件为:JH20的温度为60℃,载气流量为500mL/min,氧气流量为15mL/min,沉积温度为600℃.

作 者: 郑勇 张立同 陈照峰 成来飞 徐永东   作者单位: 西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室  刊 名: 航空制造技术  ISTIC 英文刊名: AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY  年,卷(期): 2007 ""(1)  分类号: V2  关键词: 复合材料   石英玻璃   MOCVI   制备条件  

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