交流量热法测量SiO2薄膜的热扩散率

交流量热法测量SiO2薄膜的热扩散率

介绍了交流量热法测量薄膜热扩散率的原理和系统组建.用脉宽为纳秒级的超短激光脉冲作为热源,测量了Si衬底上厚度为100nm和500nm的SiO2薄膜水平方向上的热扩散率.实验结果表明该结构的热扩散率比SiO2体材料的要小,并且随着SiO2层厚度的减小,热扩散率也减小.

作 者： 陈海军 马灵芝 唐祯安   作者单位： 大连理工大学,电子系,辽宁,大连,116023  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2002 33(5)  分类号： O484.5 TK121 TK124  关键词： 交流量热法   薄膜   热扩散率  

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