基于光源扫描的三角法位移测量方法

基于光源扫描的三角法位移测量方法

对激光三角法测量位移的几种光路布局方案及其特点进行了比较,在此基础上,提出了一种新的基于光源扫描的三角法激光位移测量方法,阐述了激光三角法测量原理,并设计了相应的测量系统,分析了影响系统精度的因素.理论分析可知,该系统的测量分辨力可达到1.5×10-5 m.实验结果表明:此系统有很强的实用性,测量范围为0 mm～10 m,适用于工业生产.

作 者： 王玉田 刘辉 张玉燕 刘少勋 WANG Yu-tian LIU Hui ZHANG Yu-yan LIU Shao-xun   作者单位： 燕山大学,电气工程学院,河北,秦皇岛,066004  刊 名： 传感器与微系统  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(10)  分类号： P221  关键词： 三角法   位移测量   电荷耦合器件  

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