基于衰减全反射结构的微小位移的实时测量

基于衰减全反射结构的微小位移的实时测量

利用衰减全反射结构制作出一种新型实时测量微小位移的传感器.方法是用带有一定入射角宽度的光束代替传统的角度扫描,在计算机屏幕上同时显示标志波导模式的一组暗线.当外界工作条件发生变化,暗线就会随之移动,利用屏幕上暗线的移动来测量微小位移.研究表明,该器件测量实时性强、精确度较高、设备简单、成本低、易于调节等诸优点,预计在微加工等领域具有潜在的应用价值.

作 者： 欧阳坤 况庆强 肖平平 乐建新 OUYANG Kun KUANG Qing-qiang XIAO Ping-ping LE Jian-xin   作者单位： 欧阳坤,况庆强,乐建新,OUYANG Kun,KUANG Qing-qiang,LE Jian-xin(江西师范大学物理与通信电子学院,江西南昌,330027)

肖平平,XIAO Ping-ping(宜春学院物理科学与工程技术学院,江西宜春,336000) 

刊 名： 江西师范大学学报（自然科学版）  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF JIANGXI NORMAL UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES EDITION）  年，卷(期)： 2008 32(3)  分类号： O432.2  关键词： 衰减全反射   微小位移   传感器  

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