等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量

等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量

1 引言 随着国内半导体工业的蓬勃发展,半导体材料及器件中的分析技术也显得越来越重要.在半导体制造过程中,硼磷硅玻璃(BPSG)作为硅片表面的平整介质和钝化层,其中B、P的含量直接影响它的性能.B、P分析方法有多种,如美国Balazs公司采用的是等离子体发射光谱法(ICP-OES).本文用等离子体质谱法(ICP-MS)对B、P进行检测,与Balazs的分析结果对照,效果良好,而且与ICP-OES相比,B、P的检出限降低了1～2个数量级,有很高的实用价值.

作 者： 黄曜 黄郁芳 牛国兴 宗祥福   作者单位： 黄曜,黄郁芳,宗祥福(复旦大学材料科学系,上海,200433)

牛国兴(复旦大学化学系,上海,200433) 

刊 名： 分析化学  ISTIC SCI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF ANALYTICAL CHEMISTRY  年，卷(期)： 2002 30(7)  分类号： O65  关键词：  

【等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量】相关文章：

电感耦合等离子体质谱法直接测定酱油中的铅04-25

固废中总磷的测定04-26

等离子体质谱法测定进出口花生及制品中镉、铅、汞、砷04-26

微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定高纯镍板中痕量元素04-27

赤霉素在钼蓝法测定煤中磷的应用04-27

污染源以及环境空气中乙酸含量的测定04-25

浅谈简化测定总磷的方法04-27

高效液相色谱法测定蟹组织中甲醛的含量04-26

万乳康中盐酸左旋咪唑含量测定方法的研究04-27

高效液相色谱法测定大豆中卵磷脂的含量04-27