制备温度对TiO2基膜表面非晶态ZnO薄膜发光特性影响的研究

制备温度对TiO2基膜表面非晶态ZnO薄膜发光特性影响的研究

利用电子束热蒸发镀膜的方式,以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料,以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO/TiO2复合薄膜.研究制备温度对ZnO/TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响.通过拉曼(Raman)谱和X射线衍射(XRD)谱分析了ZnO/TiO2薄膜的结构,表明所制备的ZnO薄膜为非晶态.用光致发光 (PL) 谱表征了它的发光特性,数据表明在250 ℃时制备的非晶态ZnO薄膜在波长389 nm处具有极强的紫外光发射,在波长431 nm处发出很强的紫光,在波长519 nm处发出较强的黄绿光.

作 者： 沈华 史林兴 王青 何勇 朱日宏 SHEN Hua SHI Lin-xing WANG Qing HE Yong ZHU Ri-hong   作者单位： 沈华,王青,何勇,朱日宏,SHEN Hua,WANG Qing,HE Yong,ZHU Ri-hong(南京理工大学,电子工程与光电技术学院,江苏,南京,210094)

史林兴,SHI Lin-xing(南京理工大学,理学院,江苏,南京,210094) 

刊 名： 应用光学  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF APPLIED OPTICS  年，卷(期)： 2007 28(4)  分类号： O462.3 O484.4-34  关键词： ZnO   TiO2   电子束热蒸发   紫外光发射   非晶态薄膜  

【制备温度对TiO2基膜表面非晶态ZnO薄膜发光特性影响的研究】相关文章：

射频反应溅射制备的ZnO薄膜的结构和发光特性04-27

TiO2薄膜的溶胶-凝胶法制备及其光学特性04-26

N 掺杂ZnO薄膜的接触特性04-26

纳米ZnO薄膜制备及液态源掺杂04-27

自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性04-26

Ag掺杂对ZnO薄膜的光电性能影响04-26

RF溅射ZnO薄膜工艺与结构研究04-26

纳米硅镶嵌复合薄膜退火前后的微结构及发光特性研究04-26

基片及基片温度对Fe4N薄膜的形成及其特性的影响04-27

ZJR型涂料的制备及特性研究04-26