基片及基片温度对Fe4N薄膜的形成及其特性的影响

时间:2023-04-27 08:32:30 数理化学论文 我要投稿
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基片及基片温度对Fe4N薄膜的形成及其特性的影响

以双离子束溅射法在(111)硅片和玻璃上分别制得了单一γ1-Fe4N薄膜,研究了基片及基片温度对薄膜的结构和磁性能的影响.结果表明,以(111)硅片为基片,可制得无晶粒择优取向的单一γ1-Fe4N相;而以玻璃为基片,在基片温度为160℃时,则可制得具有(100)面晶粒取向的单一γ1-Fe4N相薄膜;与无晶粒择优取向的γ1-Fe4N相比较,具有(100)面晶粒取向的γ1-Fe4N相的矫顽力较低,易达到磁饱和,但二者的饱和磁化强度基本一致.

作 者: 诸葛兰剑 姚伟国 吴雪梅 王文宝   作者单位: 诸葛兰剑,王文宝(苏州大学,分析测试中心,江苏,苏州,215006)

姚伟国,吴雪梅(苏州大学,物理系,江苏,苏州,215006) 

刊 名: 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年,卷(期): 2002 33(5)  分类号: O484  关键词: 双离子束溅射   基片   γ1-Fe4N薄膜   晶粒取向  

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