新型激光跟踪测量系统的设计

新型激光跟踪测量系统的设计

基于多边法原理,设计出一种新型的激光跟踪测量系统.该系统采用四象限光电池作传感器,准确地测量目标镜反射光线的位置,测量灵敏度为200mV/mm;以双电机驱动的双轴单转镜作跟踪机构,结构简单,运动灵巧,立体转角约±35(;模拟式PID与数字式PID相结合的控制方案,控制精度高,跟踪速度快.实验表明,系统跟踪速度优于0.7m/s,综合测量精度1.3μm.

作 者： 隋修武 张国雄 赵树忠 刘丽亚   作者单位： 天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072  刊 名： 光电工程  ISTIC PKU 英文刊名： OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING  年，卷(期)： 2005 32(1)  分类号： V556.7  关键词： 激光跟踪系统   坐标测量   数字式PID   光电位置检测器  

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