真空设备的维护和维修注意事项
1 维护部分
1.1、机械真空泵的维护和保养：
(1) 泵及其四周环境应经常保持清洁，
真空设备的维护和维修
。(2) 泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。
(3) 不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。
(4) 泵在使用中温升不能超过70℃。
(5) 新泵在使用100 h左右应换1～2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期限。
(6) 新泵和修理后的泵应现作运转试验4～6 h，检查泵是否符合使用要求。
(7) 泵使用较长时间以后(2～3年不等)，极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。
(8) 泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管道(关低真空阀或夹真空夹)，防止喷油，污染工作场地。
(9) 泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。
(10)泵不用时，应用橡皮塞(帽)把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。
(11)经常注意真空技术发展动向，尽量及早地引入新技术、新材料(如新泵油等)，以改进原有系统的性能。
以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。
1.2、整套设备的日常维护：
(1) 操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。
(2) 冷却水水压应保持0.1～0.2 Mpa之间，出水温度≤45℃，
管理资料
《真空设备的维护和维修》(http://meiwen.anslib.com)。(3) 压缩空气压力在0.4～0.5 Mpa之间。
(4) 每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。
(5) 开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。
(6) 经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。
(7) 设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。
(8) 机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。
(9) 扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。
(10)充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。
(11)本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。
(12)设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。
(13)气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。
(14)设备的整机电压要保证在350～420 V范围内。三相要平衡。
(15)规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。
(16)各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。
(17)设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。
(18) 设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10～40℃。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。
(19) 设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。