基于微机电系统CAD研究分析

基于微机电系统CAD研究分析

微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础,CAD技术在MEMS研究过程中具有非常重要的作用.本文概述了微机电系统CAD的研究进展,并介绍了国外在该领域的研究工作.重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键技术问题,针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的特点,并据此提出了微机电系统的设计原则.以便能提高微型机电系统的设计质量,缩短研制周期,使之及早走向工业化.

作 者： 陈蓉晖   作者单位： 湘潭职业技术学院,机电系,湖南,湘潭,411102  刊 名： 咸宁学院学报  英文刊名： JOURNAL OF XIANNING COLLEGE  年，卷(期)： 2009 29(3)  分类号： P393  关键词： 微机电系统(MEMS)   计算机辅助设计(CAD)   设计原则  

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