氟化钙晶体的生长和应用研究

氟化钙晶体的生长和应用研究

CaF2晶体作为一种传统晶体材料, 应用十分广泛.文中综合介绍了CaF2晶体在深紫外光刻机的光学元件、激光晶体和被动Q开关三个领域的应用现状及趋势, 归总了CaF2晶体具有的优异性能, 阐述了CaF2晶体与深紫外准分子激光之间的作用, 晶体结构对激光性能的影响, 晶体生长和加工等诸多方面的研究进展.

作 者： 苏良碧 徐军 杨卫桥 董永军 周国清   作者单位： 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800  刊 名： 硅酸盐学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY  年，卷(期)： 2003 31(12)  分类号： O-78  关键词： 氟化钙   晶体生长   准分子激光光刻   激光晶体   Q开关  

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