高效平面全息衍射光栅的获取方法

高效平面全息衍射光栅的获取方法

从全息衍射光栅的制作原理出发，介绍了全息光栅的主要制作方法，并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及槽间距等进行了优化设计，同时利用离子束刻蚀技术获得了高效率全息光栅。文中全面分析了制作高效率平面全息光栅的各项关键技术。

作 者： 赵博 齐向东 ZHAO Bo QI Xiang-dong   作者单位： 赵博,ZHAO Bo(北京大学遥感与地理信息系统研究所,)

齐向东,QI Xiang-dong(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,) 

刊 名： 光学精密工程  ISTIC EI PKU 英文刊名： OPTIC AND PRECISION ENGINEERING  年，卷(期)： 2001 9(2)  分类号： O436.1  关键词： 全息光栅   离子刻蚀   衍射效率  

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