类金刚石薄膜的紫外辐照研究

类金刚石薄膜的紫外辐照研究

对射频等离子体方法制备的类金刚石(以下简称DLC)薄膜样品进行了紫外辐照.采用电阻率、Raman光谱及红外光谱研究了紫外光(以下简称UV)辐照对DLC薄膜结构与特性的影响.Raman光谱表明:紫外光对DLC薄膜中SPC-H键的破坏作用非常明显,红外(IR)光谱结果进一步验证了这一结果.经UV辐照后,DLC薄膜的电阻率呈变小趋势,这说明薄膜被强烈氧化,最后呈现石墨化趋势.

作 者： 刘贵昂 谢二庆 王天民   作者单位： 刘贵昂(湛江海洋大学基础科学系,广东,湛江,524088)

谢二庆(兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000)

王天民(北京航空航天大学理学院,北京,100083) 

刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2002 33(5)  分类号： O484  关键词： 类金刚石薄膜   紫外光辐照   Raman光谱   红外光谱   石墨化  

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