一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

提出了一种适合于批量制备SOA减反膜的实时监控技术.监控系统简单,操作方便,可以应用于国产镀膜机.由此技术批量制备SOA,腔面剩余反射均接近10-4.

作 者： 段子刚 刘德明   作者单位： 段子刚(深圳大学,光电子学研究所,广东省光电子器件与系统重点实验室,深圳,518060)

刘德明(华中科技大学,光电子工程系,武汉,430074) 

刊 名： 激光技术  ISTIC PKU 英文刊名： LASER TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 28(5)  分类号： O484.1 TN248.4  关键词： 半导体光放大器   增透膜   剩余反射   适时监控  

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