Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究

Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究

硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器,温度变化是其主要误差源之一.分析了温度变化对硅微陀螺仪的谐振频率和品质因数的影响,并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在-40℃～80℃温度范围内进行测试,得出机械品质因数和谐振频率随温度变化规律.实验结果验证了陀螺仪谐振频率随温度升高而线形下降;温度变化时,封装陀螺仪抽真空度对陀螺机械品质因数产生明显影响.

作 者： 陈淑铃 杨波 王寿荣 CHEN Shu-ling YANG Bo WANG Shou-rong   作者单位： 东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096  刊 名： 电子器件  ISTIC 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF ELECTRON DEVICES  年，卷(期)： 2008 31(6)  分类号： V241.59  关键词： 微机械陀螺仪   温度特性  

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