硅微机械陀螺仪结构中的电容分析

硅微机械陀螺仪结构中的电容分析

为减小杂散电容提高信噪比,分析了硅微机械陀螺仪结构中的电容.并以某硅微机械陀螺仪的理论模型为对象,建立了陀螺仪结构中的电容模型.对每种电容进行了理论分析,并借助电路仿真软件对模型进行了仿真,分析了杂散电容对输出的影响,结果表明布线与活动结构间的电容对输出有很大的影响.提出了采用新工艺和合理的布线方法减小与活动结构间的电容,从而提高信噪比.

作 者： 施芹 王寿荣 杨波 SHI Qin WANG Shou-rong YANG Bo   作者单位： 东南大学,仪器科学与工程系,江苏,南京,210096  刊 名： 测控技术  ISTIC PKU 英文刊名： MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2005 24(11)  分类号： V241.5+54 O472  关键词： 硅微机械陀螺仪   信噪比   杂散电容   电容模型  

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