洁净室内化学气体污染物的分类及控制

洁净室内化学气体污染物的分类及控制

提出以控制半导体行业AMC污染为目的,对应污染产生的来源应采取的减除措施.并细述各种化学过滤器的分类及适用场合,最后列举实际案例说明化学过滤器的选配及安装位置.

作 者： 赵庆 苏伟胜 Zhao Qing Su Weisheng   作者单位： 赵庆,Zhao Qing(广东省城乡规划设计研究院深圳分院,深圳,518000)

苏伟胜,Su Weisheng(四川省成都市弗瑞斯空间策划顾问机构,成都,610051) 

刊 名： 制冷与空调（四川）  英文刊名： REFRIGERATION & AIR CONDITIONING  年，卷(期)： 2009 23(4)  分类号： X131.1  关键词： AMC   污染源   活性炭   兼容性   吸附  

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