CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究

CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究

以[CH/H2/Ar/H2S]为工作气体,采用辉光等离子体辅助化学气相沉积(CVD)技术,对掺硫金刚石薄膜的应力进行了研究,结果表明:在典型的掺硫金刚石薄膜制备工艺条件下,随着硫碳比的增加,总应力和本征应力星减小趋势,在硫碳体积比RS/C=4.2×10-3时,总应力有最大值23GPa;在R S/C=6.5×10-3时,本征应力可以抵消热应力,而使总应力的绝对值最小,在此条件下所合成的金刚石薄膜与衬底的附着性较好,有利于金刚石薄膜的稳定生长.分析认为金刚石薄膜的晶粒边界密度,sp2碳相等杂质分别是产生张力、压力的主要原因.

作 者： 赵庆勋 王永杰 南景宇 杨景发 闫正   作者单位： 赵庆勋,王永杰,杨景发,闫正(河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002)

南景宇(张家口师范专科学校物理系,河北,张家口,075000) 

刊 名： 中国激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2004 31(z1)  分类号： O484  关键词： 薄膜物理学   化学气相沉积   金刚石薄膜   掺杂   应力  

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