计算超薄镜最接近球面的非球面梯度法及有限元分析

计算超薄镜最接近球面的非球面梯度法及有限元分析

利用超薄镜的弹性变形,通过主动光学技术将超薄球面镜变形为所需精度的非球面镜,可以避开大口径超薄非球面镜的制造难题.在分析了传统的非球面超薄镜最接近球面选择原则的基础上,提出了以非球面梯度作为选择原则的依据.针对一个实例,用非球面梯度法和最小二乘法分别求出两个最接近球面并对它们进行有限元法的变形分析,对它们变形后的面形精度和最大应力进行了比较.结果表明,在相同的边界条件、加载个数和加载位置的条件下,以非球面梯度法求出的最接近球面在变形后不仅应力小,且更有利于提高面形精度.

作 者： 曾春梅 余景池 ZENG Chun-mei YU Jing-chi   作者单位： 苏州大学,江苏省现代光学技术重点实验室,江苏,苏州215006  刊 名： 光学技术  ISTIC PKU 英文刊名： OPTICAL TECHNIQUE  年，卷(期)： 2008 34(3)  分类号： O4  关键词： 超薄镜   最接近球面   非球面梯度法   有限元法  

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