采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅

采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅

采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8 μm、周期为1 μm的衍射光栅.

作 者： 谢永军 赵福华 魏伟 赵小侠 赵卫 XIE Yong-jun ZHAO Fu-hua WEI Wei ZHAO Xiao-xia ZHAO Wei   作者单位： 中国科学院西安光学精密机械研究所,瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安,710119  刊 名： 光子学报  ISTIC PKU 英文刊名： ACTA PHOTONICA SINICA  年，卷(期)： 2008 37(1)  分类号： O436.1  关键词： 信息光学   HfO2/SiO2溶胶-凝胶   光栅   光敏  

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