450mm晶圆缓行

450mm晶圆缓行

为了提高产品的生产率和利润,近年来晶圆面积不断扩大,大约每10年升级一次.1991年业界开始投产200mm晶圆,2001年起步向300mm晶圆过渡,依次类推.

作 者： 陶然   作者单位：   刊 名： 电子产品世界  ISTIC 英文刊名： ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD  年，卷(期)： 2008 15(12)  分类号：   关键词：  

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