纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能

纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能

PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要.薄膜材料由于尺寸效应、表面效应等的作用,力学性能与宏观块体材料有显著差异.本文用纳米压痕法获得了PZT压电薄膜的弹性模量和硬度,考察了基底的影响,分析了退火时间对于其力学性能的影响,以及硬度和压入深度之间的压痕尺度效应.

作 者： 蒋锐 胡小方 许晓慧 伍小平 JIANG Rui HU Xiao-fang XU Xiao-hui WU Xiao-ping   作者单位： 蒋锐,胡小方,伍小平,JIANG Rui,HU Xiao-fang,WU Xiao-ping(中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027)

许晓慧,XU Xiao-hui(中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027) 

刊 名： 实验力学  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS  年，卷(期)： 2007 22(6)  分类号： O34 O48  关键词： PZT压电薄膜   纳米压痕法   压痕尺度效应  

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