基于VC的自动化镀膜仪控制系统研究

基于VC的自动化镀膜仪控制系统研究

文章针对双光路膜厚监控原理,设计了双锁相放大电路、复合滤波处理和数字判断等一套微弱信号优化处理方案,并在VC++6.0集成开发环境下进行自动化监控.实验结果表明:膜厚监控系统的低反射率膜的反射率显示分辨极限为0.02%,膜厚控制的标准偏差为0.55%;软件控制系统工作可靠,界面设计友好,人机互动性强,图标和状态指示器等特色界面丰富了界面功能和方便了用户.在对监控信号的高稳定和高精度检测基础上用VC实现了镀膜全部工艺过程的自动化,并且性能价格比优于同类镀膜设备系统.

作 者： 许世军 任小玲 XU Shi-jun REN Xiao-ling   作者单位： 许世军,XU Shi-jun(西安工业大学,数理系,陕西,西安,710032;西安交通大学,理学院,陕西,西安,710049)

任小玲,REN Xiao-ling(西安工程大学,计算机学院,陕西,西安,710048) 

刊 名： 合肥工业大学学报（自然科学版）  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)  年，卷(期)： 2007 30(6)  分类号： O484.5 TP273.5  关键词： 薄膜光学   监控系统   VC++   复合滤波   数字判断   双光束  

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