纳米光学金刚石薄膜的分析与改进

纳米光学金刚石薄膜的分析与改进

由于极其优良的热学和光学性能,纳米金刚石薄膜极有可能应用于背投电视的激光光学窗口.文章通过在热丝辅助化学气相沉积法中采用偏压增强成核(BEN-HFCVD),成功地在(100)硅衬底上制得了适于作为光学窗口的高质量的光学级纳米金刚石薄膜,采用的偏压为-30 V.通过表征制备的纳米金刚石薄膜,发现它具有光滑的表面,表面均方根粗糙度(RMS)约为10 nm,并且对自支撑纳米金刚石薄膜进行透射光谱分析得到其透射率达到了50 %.

作 者： 胡广 王林军 祝雪丰 刘建民 黄健 徐金勇 夏义本 HU Guang WANG Lin-jun ZHU Xue-feng LIU Jian-min HUANG Jian XU Jin-yong XIA Yi-ben   作者单位： 上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072  刊 名： 液晶与显示  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS  年，卷(期)： 2007 22(5)  分类号： O484  关键词： 纳米金刚石   光学性质   表面粗糙度   偏压增强成核-热丝辅助化学气相沉积法   nano-diamond   optical properties   surface roughness   bias enhanced nucleation hot filament chemical vapor deposition  

【纳米光学金刚石薄膜的分析与改进】相关文章：

类金刚石薄膜的紫外辐照研究04-27

纳米ZnO薄膜制备及液态源掺杂04-27

CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究04-26

含纳米硅和纳米锗的氧化硅薄膜光致发光的比较研究?04-27

氟掺杂的氧化锌薄膜的结构和光学特性04-27

纳米ZnO生长及性质分析04-26

自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性04-26

纳米TiO2薄膜光催化降解苯酚的试验研究04-26

具有纳米结构的TiO2透明激光全息防伪薄膜04-26

硅衬底上Zn1-xMgxO薄膜的结构与光学性质04-26