电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl*)辐射的影响

电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl*)辐射的影响

本文对电源参数如电压幅值、频率及正负电压对介质阻挡放电激发准分子XeCl*紫外(308nm)辐射的影响进行了实验研究.结果表明,UV辐射随电压幅度的增加而增强,但效率下降;提高频率,增加了放电次数,导致UV辐射的增强;此外,在较高的频率下,电压上升沿变陡,使得电子获得的能量主要用于原子的激发和电离.正、负电压放电的不对称源于电极结构的不对称而引起的放电过程的差异,负电压内电极可向放电管中馈入更多的能量;比较发光光谱可判断生成准分子的等离子体化学过程没有明显的差别.

作 者： 徐金洲 梁荣庆 任兆杏 程黎放 童惠君   作者单位： 徐金洲,梁荣庆,任兆杏(中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031)

程黎放,童惠君(江苏苏净集团净化工程技术研究中心,苏州,215008) 

刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(5)  分类号： O434.2 TM923.322  关键词： 介质阻挡放电   微放电   准分子XeCl*   紫外灯   电源  

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