数字图像消卷积在显微测量中的应用

数字图像消卷积在显微测量中的应用

研究了数字图像消卷积在显微测量中的应用.在测量系统点扩展函数的基础上,利用频谱空间变换消卷积图像处理方法,消除了传统光学显微成像中的几何不清晰度.通过对显微图像进行复原,实现了反射式一维线宽的显微精确测量.在医用接骨钢板表面质量的评价中,对10μm量级的划痕宽度实现了精确和方便的测量.该技术对相关计量技术的发展具有重要意义.

作 者： 杜华月 顾济华 杨勇 钱湧 DU Hua-yue GU Ji-hua YANG Yong QIAN Yong   作者单位： 杜华月,顾济华,DU Hua-yue,GU Ji-hua(教育部现代光学技术重点实验室,江苏,苏州,215006;苏州大学物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006)

杨勇,YANG Yong(苏州大学物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006)

钱湧,QIAN Yong(江苏省医疗器械检验所,南京,210037) 

刊 名： 光学技术  ISTIC PKU 英文刊名： OPTICAL TECHNIQUE  年，卷(期)： 2007 33(4)  分类号： O439  关键词： 显微测量   数字成像   消卷积   点扩展函数  

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