从光电子峰的背景信号获得成分深度分布信息: Tougaard背景拟合方法

从光电子峰的背景信号获得成分深度分布信息: Tougaard背景拟合方法

光电子谱中的背景信号包含样品的信息,但过去往往被忽略.实际上通过分析背景信号,可以获得成分随深度分布等信息.本文介绍Tougaard背景拟合法及其在光电子谱深度剖析中的应用.

作 者： 季振国 朱玲   作者单位： 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027  刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(6)  分类号： O655.9 O482.7  关键词： 光电子谱   背景拟合   深度剖析  

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