分子束外延生长液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究

分子束外延生长液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究

描述了ZnSxSe1-x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理,并从器件的电学模型出发,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1-x光敏层的特殊要求.采用分子束外延技术在ITO导电玻璃上制备了具有(111)面定向生长结构的ZnSxSe1-x多晶薄膜,通过控制反应时的生长参数,制备出了符合器件设计要求的光敏层薄膜.室温下,该薄膜的紫外/可见光响应对比度大于103;响应波长截止边可通过控制薄膜中的Se组分,在(360～410)nm范围内连续可调;薄膜的暗电阻率在(4.32 × 109～2.03×1011)Ω@m之间,并随着晶粒的增大而减小;在液晶光阀工作的低频段(<200Hz),其光/暗阻抗比在0.22～0.36之间.

作 者： 沈大可 Sou.I.K 韩高荣 杜丕一 阙端林   作者单位： 沈大可(浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027;香港科技大学物理系,香港九龙清水湾)

Sou.I.K(香港科技大学物理系,香港九龙清水湾)

韩高荣,杜丕一,阙端林(浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027) 

刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(6)  分类号： O434.2 TN204  关键词： 分子束外延   紫外液晶光阀   ZnSxSe1-x光敏层   ITO导电玻璃   光电特性  

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