用微光学技术制作位相型聚焦光栅

用微光学技术制作位相型聚焦光栅

根据菲涅耳衍射理论,采用微光学制作技术通过3次套刻,将8位相台阶的菲涅耳波带片和平面光栅组合制作在同一块基片上,构成同时具有色散分光和聚焦光谱线功能的位相型光栅.这种光栅具有较高的光谱分辨本领和衍射效率,而且光路简单,调节方便.实验测出的衍射效率大于71%.

作 者： 纪宪明 沐仁旺 韩良恺   作者单位： 南通师范学院,物理系,江苏,南通,226007  刊 名： 半导体光电  ISTIC PKU 英文刊名： SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS  年，卷(期)： 2004 25(5)  分类号： O439  关键词： 微光学元件   菲涅耳波带片   聚焦光栅  

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