半导体工业的变迁

半导体工业的变迁

近50年来半导体工业的进展,简直如神话一般,改变了人类的生活,极大地推动社会的进步.著名的摩尔定律一直引领着半导体工业的发展历程.

作 者： 莫大康   作者单位： 应用材料中国公司  刊 名： 电子工业专用设备  英文刊名： EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING  年，卷(期)： 2003 32(4)  分类号： F4  关键词：  

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