- 相关推荐
准分子激光均束器及其研究进展
以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准分子激光光束均匀化的重要性;按照折射光学元件、衍射光学元件和混合光学元件分类的方法,分别对这三类准分子激光均束器进行了介绍,并对其特点、应用和进展情况进行了综述.
作 者: 裴文彦 周金运 林清华 作者单位: 裴文彦(广东工业大学实验教学部)周金运,林清华(广东工业大学物理与光电工程学院,广东,广州,510006)
刊 名: 中国科技博览 英文刊名: ZHONGGUO BAOZHUANG KEJI BOLAN 年,卷(期): 2009 ""(7) 分类号: U305.7 关键词: 准分子激光 均束器 光刻 加工窗【准分子激光均束器及其研究进展】相关文章:
静电及其研究进展04-30
生态安全及其研究进展04-28
SELEX技术及其应用的研究进展04-27
Survivin及其靶向治疗研究进展04-26
乳腺细胞凋亡及其研究进展04-29
心房钠尿肽及其分泌机制研究进展04-27
生物接触氧化法及其研究进展04-26
虎骨及其替代品的研究进展04-26
羊痘病毒及其疫苗研究进展04-26