微机械陀螺仪的微结构分析与设计

微机械陀螺仪的微结构分析与设计

针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象,本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型.经对某微陀螺结构的仿真计算发现,哥氏阻尼力随激励哥氏力增大而增大,造成电容检测信号极为微弱,无论激励的幅度和频率如何.为此,本文给出了一种新型振动轮式微陀螺结构,可减小哥氏阻尼力,相对增大了激励哥氏力.这种新型结构显著增强了电容检测信号,而且具有双轴微陀螺功能、对耦合线加速度不敏感等特点.

作 者： 贾建援 王志荣 冯小平   作者单位： 贾建援,王志荣(西安电子科技大学机电工程学院)

冯小平(西安电子科技大学电子工程学院) 

刊 名： 仪器仪表学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT  年，卷(期)： 2001 22(5)  分类号： V24  关键词： 微机械陀螺仪   微电子机械系统   微惯量测量组合   机电系统动力学   微结构设计  

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