定容式流导法微流量校准装置的设计

定容式流导法微流量校准装置的设计

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定容式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量.定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量.该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10-2～5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%～1.70%.

作 者： 张涤新 郭美如 赵澜 赵定众 Zhang Dixin Guo Meiru Zhao Lan Zhao Dingzhong   作者单位： 兰州物理研究所,兰州730000  刊 名： 中国空间科学技术  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE SPACE SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2006 26(2)  分类号： V4  关键词： 流量计   流量测量   校准   设计  

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