等离子体基低能离子注入技术的研究与发展

等离子体基低能离子注入技术的研究与发展

作 者： 雷明凯   作者单位：   刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 1999 19(4)  分类号：   关键词：  

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